Semiconductor Equipment
半導(dǎo)體裝備
CST清洗設(shè)備
基本規(guī)格：
-產(chǎn)品說明：清洗卡匣，確保卡匣在產(chǎn)線運行的潔凈度；
-適用范圍：G6 CST和G6 Half CST；
-工藝流程：加載→玻璃和卡匣感應(yīng)檢測→熱DI高壓清洗→DI清洗→CDA風(fēng)機(jī)(風(fēng)干)→1#熱烘干→2#熱烘干→卡匣變形檢驗→卸載；
-干燥方式：卡匣在干燥室內(nèi)旋轉(zhuǎn)通過熱風(fēng)進(jìn)行烘干；
-設(shè)備節(jié)拍：根據(jù)客戶需求設(shè)計；
-產(chǎn)品定制：室體規(guī)格根據(jù)Cassette規(guī)格設(shè)計；有一室/二室/三室等規(guī)格可選擇；
上一個： CASSETTE玻璃載具卡匣
下一個： COF
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